設備防震基座
Type A 高剛性基座
有剛性需求 2x108 N/m 以下，建議使用高剛性基座
主要適用設備：EUV/SCANNER(曝光機)、STEEPER 等製程設備
Type D 載重型基座
設備重量承載超過設置區域的地板承重能力；設備作動時瞬間產生較大作用力需以承重力量較佳的基座來承載
主要適用設備：IMP 、CMP 、WET 、Track等製程設備
Type E 主動式基座
現場環境值不符合設備為震動需求，必須透過主動式基座的電腦系統來調整，以達到機台設備的微震動要求。
適用狀況：有微震動需求之機台設備但現場環境不符合標準的情況。