產品及服務項目

設備防震基座

Type A 高剛性基座

有剛性需求  2x108 N/m 以下,建議使用高剛性基座

主要適用設備:EUV/SCANNER(曝光機)、STEEPER 等製程設備

Type B 水泥型

設備操作環境對微震需求較為嚴苛;設備設置位置環境震動較大者,以水泥基座來達到最佳的隔震效果

主要適用設備:量測製程設備

Type C 鋼構型基座

設備為鎮需求在VC-B以上且環境符合設備規格下建議使用

主要適用設備:檢驗設備(INSPECTOR)、光學顯微鏡(Microscopes)、REPAIR、RUBBING、COATER、OVEN等製程設備

Type D 載重型基座

設備重量承載超過設置區域的地板承重能力;設備作動時瞬間產生較大作用力需以承重力量較佳的基座來承載

主要適用設備:IMP 、CMP 、WET 、Track等製程設備

Type E 主動式基座

現場環境值不符合設備為震動需求,必須透過主動式基座的電腦系統來調整,以達到機台設備的微震動要求。

適用狀況:有微震動需求之機台設備但現場環境不符合標準的情況。

Type F 地板補強型

設備無震動或剛性需求。基座可承總重在5頓以下;個別腳柱最大承重為1000kg。

使用情況:高架地板開孔開孔後強度遭受破壞,必須在高架地板下做鋼構補強

其他相關工程&產品

機器設備防滑防震固定
主動式隔震系統、加強基座、機台 SEISMIC、設備防震防滑固定、高架
基座安裝、移位與拆除
基座安裝、移位與拆除;設備拆遷工程
無塵室專用器材設備製作
推車、貨架、電腦架、置放櫃、超高強度合金鋁擠型
廠區相關工程
包含:不銹鋼材製品製作 (推車、貨架、電腦架、置放櫃、氮氣櫃)、共同管架工程、貓道工程、維修平台工程、超高強度合金鋁擠型
無塵室相關工程
無塵室潔淨工程、無塵室機械隔屏、高架地板切割安裝
CNC精密加工
晶舟轉換器、視窗地板、地板閥、牆閥、彎管器、各式零組件加工