產品及服務項目

Type A 高剛性基座

有剛性需求  2x10⁸ N/m 以下，建議使用高剛性基座

主要適用設備：EUV/SCANNER(曝光機)、STEEPER 等製程設備

Type B 水泥型

設備操作環境對微震需求較為嚴苛；設備設置位置環境震動較大者，以水泥基座來達到最佳的隔震效果

主要適用設備：量測製程設備

Type D 載重型基座

設備重量承載超過設置區域的地板承重能力；設備作動時瞬間產生較大作用力需以承重力量較佳的基座來承載

主要適用設備：IMP 、CMP 、WET 、Track等製程設備

Type E 主動式基座

現場環境值不符合設備為震動需求，必須透過主動式基座的電腦系統來調整，以達到機台設備的微震動要求。

適用狀況：有微震動需求之機台設備但現場環境不符合標準的情況。

Type F 地板補強型

設備無震動或剛性需求。基座可承總重在5頓以下；個別腳柱最大承重為1000kg。

使用情況：高架地板開孔開孔後強度遭受破壞，必須在高架地板下做鋼構補強